信息摘要:
潔淨室的發展與現代工業、尖端技術密切聯系在一起。由于精密機械工業(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(如大規模集成電路生産)等對環境的要求,促進了潔淨室技術的發展。
潔淨室的發展與現代工業、尖端技術密切聯系在一起。由于精密機械工業(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(如大規模集成電路生産)等對環境的要求,促進了潔淨室技術的發展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。