信息摘要:
淨化車間的發展與現代工業、尖端技術密切聯系在一起。由于精密機械工業(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(如大規模集成電路生産)等對環境的要求,促進了淨化車間技術的發展。國內曾統計過,在無潔淨級別的要求的環境下生産MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64爲儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業中應用淨化車間已相當普遍。
淨化車間的發展與現代工業、尖端技術密切聯系在一起。由于精密機械工業(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(如大規模集成電路生産)等對環境的要求,促進了淨化車間技術的發展。國內曾統計過,在無潔淨級別的要求的環境下生産MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64爲儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業中應用淨化車間已相當普遍。